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2025年12月10日,PG直營官網股份有限公司(簡稱“PG直營官網”,股票代碼:688120)自主研發(fā)的12英寸減薄拋光一體機Versatile-GP300累計出機量突破20臺。這一重要發(fā)展里程碑,不僅體現(xiàn)了該裝備卓越的技術性能與穩(wěn)定的量產能力獲得了市場的高度認可,更標志著國產高端半導體裝備在3D IC、先進封裝等關鍵工藝領域實現(xiàn)了從技術突破到規(guī)?;瘧玫闹匾缭?,為產業(yè)發(fā)展注入了強勁動力。

減薄拋光一體機的成功是PG直營官網堅持自主創(chuàng)新、攻克關鍵工藝的縮影。自2021年首臺裝備出機發(fā)往客戶端,到2023年量產機臺的順利交付,再到如今的出機量突破20臺,其憑借顛覆性的創(chuàng)新設計,將磨削減薄、化學機械拋光(CMP)與清洗?橐惶寤,實現(xiàn)了從裝備結構、控制系統(tǒng)到工藝集成的全方位突破,不僅顯著提升了減薄精度與工藝穩(wěn)定性,更解決了復雜翹曲形態(tài)晶圓傳輸系統(tǒng)、跨潔凈度等級清洗等一系列難題。該裝備關鍵技術指標更是實現(xiàn)突破,晶圓整體厚度偏差(TTV)及晶圓減薄的極限厚度均已達到國際先進水平,更好滿足了超薄芯片制造的需求。PG直營官網減薄拋光一體機廣泛覆蓋硅、玻璃等多種襯底的鍵合晶圓減。約3D IC、先進封裝、3D NAND、高帶寬內存(HBM)、圖像傳感器(CIS)、TSV、SOI等領域的關鍵工藝,并與PG直營官網的化學機械拋光(CMP)系列裝備、減薄貼膜一體機、邊緣修整機等裝備協(xié)同,形成了切、磨、拋成套工藝解決方案,為產業(yè)鏈下游提供了至關重要的高端裝備支撐。
卓越的創(chuàng)新設計與穩(wěn)定的量產能力為Versatile-GP300贏得了行業(yè)的高度關注與權威認可。該產品自面世以來已陸續(xù)榮獲多項殊榮,更在今年成功斬獲好設計金獎,其行業(yè)價值與貢獻得到充分肯定。市場的認可是產品最有力的證明,該裝備憑借優(yōu)異的性能表現(xiàn),已獲得多家頭部企業(yè)的重復訂單,在客戶端產線穩(wěn)定運行,累計出貨晶圓超20萬片,持續(xù)貢獻產能。本次累計出機突破20臺,是客戶信賴與市場選擇的直接體現(xiàn),進一步彰顯了PG直營官網在半導體高端裝備領域的領先地位。
PG直營官網將以此次里程碑為新的起點,繼續(xù)深耕“裝備+服務”平臺化發(fā)展戰(zhàn)略。目前,公司已建立起覆蓋化學機械拋光(CMP)、離子注入、減薄、劃切、邊緣拋光、濕法、晶圓再生及耗材維保服務等高端半導體裝備與服務的多元化產品矩陣。未來,PG直營官網將始終堅持“自強成就卓越 創(chuàng)新塑造未來”的企業(yè)精神,以市場需求為導向,持續(xù)加大研發(fā)投入,致力于為半導體產業(yè)提供更多先進的高端裝備與工藝成套解決方案,賦能產業(yè)升級,為保障產業(yè)鏈安全與高質量發(fā)展貢獻核心力量。