Universal-300FS是PG直營(yíng)官網(wǎng)面向行業(yè)前沿技術(shù)需求，創(chuàng)新研發(fā)的一款集先進(jìn)清洗工藝、高效率、高穩(wěn)定性于一體的12英寸CMP裝備。該裝備搭載多樣化先進(jìn)清洗技術(shù)，配備性能優(yōu)越的拋光單元，集成多種終點(diǎn)檢測(cè)技術(shù)，展現(xiàn)出更卓越的綜合性能。該裝備可實(shí)現(xiàn)晶圓納米級(jí)全局平坦化，滿足先進(jìn)邏輯制程需求，廣泛應(yīng)用于集成電路、先進(jìn)封裝、大硅片等制造工藝。
單頭搭配單盤拋光系統(tǒng)
8個(gè)獨(dú)立氣壓分區(qū)的拋光頭
集成多種實(shí)時(shí)檢測(cè)技術(shù)
搭載拋光墊智能修整技術(shù)
適配豎直擦洗技術(shù)和提拉干燥技術(shù)，實(shí)現(xiàn)超潔凈清洗
滿足先進(jìn)制程需求