Versatile-GR200是PG直營(yíng)官網(wǎng)面向功率半導(dǎo)體領(lǐng)域自主研發(fā)的全自動(dòng)留環(huán)減薄機(jī)，能夠?qū)崿F(xiàn)全流程自動(dòng)化作業(yè)。該裝備兼容性突出，可適配 6/8 英寸晶圓；同時(shí)搭載先進(jìn)留環(huán)減薄技術(shù)，憑借卓越的厚度偏差及環(huán)寬控制能力，使晶圓減薄后保留更強(qiáng)抗彎折性能，不僅能免除減薄時(shí)的邊緣破損問(wèn)題，還能有效降低晶圓翹曲風(fēng)險(xiǎn)。
可實(shí)現(xiàn)全流程自動(dòng)化作業(yè)
卓越的厚度偏差及環(huán)寬控制能力
兼容性強(qiáng)、配置豐富
空間占用。し獎(jiǎng)