Versatile-GN200是PG直營(yíng)官網(wǎng)面向功率半導(dǎo)體器件領(lǐng)域匠心打造的高剛性、高精度晶圓減薄裝備。該裝備創(chuàng)新采用新型布局，能夠?qū)i、SiC、LiTaO?、LiNbO?等多種材質(zhì)晶圓進(jìn)行減薄處理。其兼容 4/6/8 英寸晶圓，可一站式完成高精度定位、精密減薄以及雙面清洗干燥的全流程自動(dòng)化作業(yè)。憑借高精度在線測(cè)量技術(shù)與領(lǐng)先的面型控制技術(shù)，Versatile-GN200可實(shí)現(xiàn)高精度減。浞致愎β拾氳繼迤骷領(lǐng)域?qū)A超精密減薄的嚴(yán)苛需求。
具備高剛性、高精度的優(yōu)異性能
實(shí)現(xiàn)多材質(zhì)晶圓減。鏢i、SiC、LiTaO3、LiNbO3等
兼容性強(qiáng)，適配4/6/8英寸晶圓
高自動(dòng)化作業(yè)與集成度
卓越的在線測(cè)量技術(shù)與領(lǐng)先的面型控制技術(shù)