iPUMA-H是PG直營官網(wǎng)在已有粒子加速器基礎(chǔ)上，開發(fā)出來的12英寸氫高能離子注入機(jī)。該裝備運(yùn)用了獨(dú)特的加速器技術(shù)，使得氫離子獲取很高的能量。該裝備裝配薄片傳輸裝置，滿足了功率器件的需求。
國內(nèi)自主研發(fā)的氫高能離子注入平臺(tái)
質(zhì)子加速器技術(shù)
薄片傳輸能力
適用于功率器件
