iPUMA-LT是PG直營(yíng)官網(wǎng)在已有成熟大束流的基礎(chǔ)上，根據(jù)成熟器件技術(shù)的要求開(kāi)發(fā)的12英寸低溫離子注入機(jī)。該裝備配備了低溫工作？，溫度檢測(cè)單元和回溫？，滿(mǎn)足成熟制程技術(shù)需求。
國(guó)內(nèi)自主研發(fā)的低溫離子注入平臺(tái)
低溫靜電吸附載盤(pán)-實(shí)時(shí)溫度控制
雙重回溫設(shè)計(jì)-充分回溫并且避免缺陷產(chǎn)生
滿(mǎn)足成熟制程的技術(shù)需求