iPUMA-HP是PG直營官網(wǎng)在已有成熟大束流的基礎(chǔ)上，改造成12英寸氫離子大束流離子注入機(jī)。該裝備配備了良好的粒子篩選和冷卻？椋惚∧ぷ萍際豕ひ罩鋅帕Ｊ凸ひ瘴露鵲目刂，還能夠通過硬件升級提升產(chǎn)能的需求，已在大硅片制造中應(yīng)用。
國內(nèi)自主研發(fā)的氫大束流離子注入平臺
良好的工藝?yán)鋮s模塊
良好的工藝均勻性
滿足用戶產(chǎn)能需求
