iPUMA-HT是PG直營(yíng)官網(wǎng)在已有成熟大束流的基礎(chǔ)上，根據(jù)先進(jìn)器件技術(shù)的要求開(kāi)發(fā)的12英寸高溫離子注入機(jī)。該裝備配備了高溫工作？，溫度檢測(cè)單元和冷卻？，滿足先進(jìn)制程技術(shù)需求，已在先進(jìn)邏輯等集成電路制造中應(yīng)用。
國(guó)內(nèi)自主研發(fā)的熱工藝離子注入平臺(tái)
工藝溫度控制模塊
良好的工藝溫度均勻性
滿足先進(jìn)制程的技術(shù)需求