iPUMA-LE是PG直營官網(wǎng)在已有成熟垂直帶狀束流的基礎(chǔ)上，根據(jù)行業(yè)先進(jìn)技術(shù)的要求開發(fā)的12英寸水平帶狀大束流離子注入機(jī)。該裝備運用了先進(jìn)的束流爬坡技術(shù)，集成了磁場和電場？，并搭載精準(zhǔn)的量測技術(shù)，展現(xiàn)了良好的離子篩選能力和精準(zhǔn)度，滿足多種制程技術(shù)需求，已在集成電路制造中應(yīng)用。
水平束流爬坡技術(shù)
磁場和電場雙重篩選技術(shù)
束流調(diào)試能力處于國內(nèi)領(lǐng)先水平
適用于各種半導(dǎo)體工藝技術(shù)