金屬膜厚量測裝備，是基于電渦流原理進行的非接觸式測量，工作高效，可進行無損傷量測，精度高、測量結果可靠準確，同時量測數(shù)據(jù)可以進行自動化處理，主要應用于 Cu、Al、W、Co 等金屬制程。
