HSDS系列研磨液供應(yīng)系統(tǒng)采用客制化、？榛杓，配置靈活，具有實(shí)時(shí)、高精度在線配比系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)濃度、流量、壓力等參數(shù)閉環(huán)控制，滿足半導(dǎo)體制造過(guò)程中濕法工藝裝備的研磨液等供應(yīng)需求，操作維護(hù)便捷，具有高可靠性、安全性和低維護(hù)保養(yǎng)成本，配置靈活等優(yōu)點(diǎn)。
客制化？榛杓，配置靈活
操作維護(hù)便捷
實(shí)時(shí)高精度的在線化學(xué)藥液配比，流量、壓力參數(shù)閉環(huán)控制
高可靠性、安全性,低維護(hù)成本