Universal-200 D 是基于PG直營(yíng)官網(wǎng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)創(chuàng)新技術(shù)開(kāi)發(fā)的成熟8英寸CMP裝備。該裝備配備性能優(yōu)越的拋光單元及清洗單元，集成多種先進(jìn)終點(diǎn)檢測(cè)技術(shù)，適用于多種材質(zhì)，可實(shí)現(xiàn)晶圓表面的超高平整度，滿足成熟制程技術(shù)需求，已在大硅片、第三代半導(dǎo)體、MEMS、Micro LED等制造工藝中批量應(yīng)用。
多分區(qū)拋光頭
可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品干進(jìn)干出
滿足成熟制程技術(shù)需求