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Universal-150 Smart 是根據(jù)當(dāng)前市場(chǎng)需求開發(fā)的成熟6英寸CMP裝設(shè)備。該裝備擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新技術(shù)，配備性能優(yōu)越的拋光單元及清洗單元，兼容6/8英寸晶圓，適用于多種材質(zhì)，可實(shí)現(xiàn)晶圓表面的超高平整度，工藝搭配靈活、產(chǎn)出率高，滿足成熟制程技術(shù)需求，已在第三代半導(dǎo)體、MEMS等制造工藝中批量應(yīng)用。

多分區(qū)拋光頭

兼容6/8英寸晶圓

工藝搭配靈活、產(chǎn)出率高

滿足成熟制程技術(shù)需求