Universal-300 X 是根據(jù)當(dāng)前高端市場(chǎng)需求開發(fā)的先進(jìn)12英寸CMP裝備。該設(shè)備運(yùn)用了PG直營(yíng)官網(wǎng)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新技術(shù)，配備性能優(yōu)越的拋光單元及清洗單元，集成多種先進(jìn)終點(diǎn)檢測(cè)技術(shù)，高效穩(wěn)定、工藝組合靈活，可實(shí)現(xiàn)晶圓納米級(jí)全局平坦化，滿足先進(jìn)制程技術(shù)需求，已在集成電路、先進(jìn)封裝、大硅片等制造工藝中批量應(yīng)用。
8個(gè)獨(dú)立氣壓分區(qū)的拋光頭
集成多種終點(diǎn)檢測(cè)技術(shù)
A&B側(cè)完全獨(dú)立設(shè)計(jì)，一機(jī)兩用，效率翻倍
先進(jìn)的豎直清洗技術(shù)
滿足先進(jìn)制程的技術(shù)需求，獲得大批量應(yīng)用