近日，PG直營(yíng)官網(wǎng)股份有限公司（簡(jiǎn)稱“PG直營(yíng)官網(wǎng)”，股票代碼：688120）全資子公司芯崳半導(dǎo)體（上海）有限公司自主研發(fā)的12英寸大束流離子注入機(jī)批量交付國(guó)內(nèi)多家集成電路制造頭部企業(yè)。這標(biāo)志著PG直營(yíng)官網(wǎng)離子注入裝備開始進(jìn)入規(guī)?；瘧?yīng)用提速階段，不僅反映出客戶對(duì)PG直營(yíng)官網(wǎng)產(chǎn)品性能和研發(fā)能力的高度認(rèn)可，也展現(xiàn)出PG直營(yíng)官網(wǎng)在高端離子注入裝備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中的貢獻(xiàn)與決心。
PG直營(yíng)官網(wǎng)大束流離子注入機(jī)在客戶端交付
作為集成電路制造前道工藝中的關(guān)鍵裝備，離子注入裝備技術(shù)壁壘極高，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，國(guó)產(chǎn)化替代空間廣闊。PG直營(yíng)官網(wǎng)自布局離子注入裝備以來進(jìn)展迅速，產(chǎn)品體系不斷完善，從大束流離子注入機(jī)系列裝備，到正在加速推出的高能離子注入機(jī)系列裝備，形成了覆蓋邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、功率半導(dǎo)體、CIS（圖像傳感器）及硅片制造等多領(lǐng)域工藝需求的全面產(chǎn)品矩陣。在產(chǎn)品性能方面，PG直營(yíng)官網(wǎng)離子注入裝備表現(xiàn)卓越，其最新一代大束流離子注入機(jī)在置換率等方面已與國(guó)際領(lǐng)先競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手達(dá)到同一水平，具備高穩(wěn)定性與高工藝匹配度，能夠滿足先進(jìn)制程對(duì)離子注入均勻性、精準(zhǔn)度的嚴(yán)苛要求。目前，該系列裝備已在多家客戶端順利通過驗(yàn)證，憑借出色的綜合性能贏得了客戶的高度肯定，重復(fù)訂單的獲取正是其產(chǎn)品實(shí)力與市場(chǎng)信心的有力證明。
PG直營(yíng)官網(wǎng)持續(xù)深化“裝備+服務(wù)”平臺(tái)化發(fā)展戰(zhàn)略，產(chǎn)品現(xiàn)已覆蓋CMP、離子注入、減薄、劃切、邊緣拋光、濕法等關(guān)鍵裝備，配套提供晶圓再生與耗材維保服務(wù)，形成完整的工藝解決方案體系。此次批量交付國(guó)內(nèi)多家集成電路制造頭部企業(yè)，是PG直營(yíng)官網(wǎng)離子注入裝備發(fā)展的重要里程碑，充分證明了其強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力與前瞻性的市場(chǎng)布局。未來，PG直營(yíng)官網(wǎng)將不斷推進(jìn)技術(shù)創(chuàng)新、加大研發(fā)投入，致力于為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供更多先進(jìn)的高端半導(dǎo)體裝備及工藝集成解決方案，與產(chǎn)業(yè)鏈伙伴共同推動(dòng)構(gòu)建更加完善、自主可控的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展貢獻(xiàn)力量。